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11. 創造科学技術大学院 = Graduate School of Science and Technology >
静岡大学大学院電子科学研究科研究報告 (1980-2008) >
2007 28 >

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タイトル: ULSIパターン形成のための縮小投影露光法の高解像度化に関する研究
その他のタイトル: STDUY ON REDUCED PROJECTION EXPOSURE METHOD FOR HIGHER RESOLUTION TO FORM ULSI PATTERN
著者: 岡本, 好彦
掲載誌名: 静岡大学大学院電子科学研究科研究報告
出版者: 静岡大学大学院電子科学研究科
巻: 28
開始ページ: 92
終了ページ: 94
出版日付: 2007-03-22
NDC: 541
注記: 博士学位論文の要旨 学位記番号:工博甲第276号
報告番号: 甲第447号
ISSN: 03885070 OPAC
NII書誌ID: AN00103168 OPAC ciniib
NDL書誌ID: 000008291662 OPAC  ndlsearch
バージョン: publisher
出現コレクション:2007 28
博士学位論文の要旨

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