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タイトル: Coating techniques of metal chambers for remote catalytic chemical vapor deposition applications
著者: Umemoto, Hironobu
Setoguchi, Shota
Uemura, Hitoshi
Matsumura, Hideki
掲載誌名: Journal of Vacuum Science and Technology A
出版者: American Institute of Physics
巻: 26
号: 2
開始ページ: 309
終了ページ: 311
出版日付: 2008-02-26
権利: (c)2008 American Institute of Physics
NDC: 431
ISSN: 15531813 OPAC
出版者DOI: 10.1116/1.2844313   
NII書誌ID: AA10635514 OPAC ciniib
バージョン: author
出現コレクション:05. 雑誌論文・記事(Journal Article, Article, Preprint)

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