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タイトル: Formation of Bare Porous Surface on 6H-SiC Substrates by Photo-Electrochemical Etching
著者: Tanaka, Akira
Katsuno, Hironobu
掲載誌名: Japanese Journal of Applied Physics
出版者: Japan Society of Applied Physics
巻: 48
号: 12
開始ページ: 120217-1
終了ページ: 120217-3
出版日付: 2009
権利: Copyright © 2009 The Japan Society of Applied Physics.
NDC: 549
ISSN: 00214922 OPAC
E-ISSN: 13474065 OPAC
出版者DOI: 10.1143/JJAP.48.120217   
NII書誌ID: AA12295836 OPAC ciniib
バージョン: author
出現コレクション:21. 雑誌論文・記事(Journal Article, Article, Preprint)

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