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タイトル: 602 FZ法を用いたSi/Ge結晶成長時における融液内対流現象に関する数値解析(OS 機器設計に関する伝熱問題(その1))
その他のタイトル: 602 Numerical study on fluid flow in a melt during crystal growth of Si/Ge by FZ method
著者: 岡野, 泰則
平田, 邦紘
掲載誌名: 日本機械学会九州支部講演論文集
出版者: 日本機械学会
巻: 2007
開始ページ: 199
終了ページ: 200
出版日付: 2007-10-12
権利: 日本機械学会 : 本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである
NDC: 549
NII論文ID: 110007113161 ciniia
NII書誌ID: AN0036066X OPAC ciniib
バージョン: publisher
出現コレクション:11. 雑誌論文・記事(Journal Article, Article, Preprint)

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