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タイトル: Comparison of Thermal Stability of Epitaxially Grown (La0.5Sr0.5)CoO3 and (La0.6Sr0.4)MnO3 Thin Films Deposited on Si Substrate
著者: Sawamura, Shigeki
Sakamoto, Naonori
Fu, De Sheng
Shinozaki, Kazuo
Suzuki, Hisao
Wakiya, Naoki
掲載誌名: Key Engineering Materials
出版者: Materials Science and Engineering
巻: 445
開始ページ: 160
終了ページ: 163
出版日付: 2010-07
NDC: 425
抄録: Thermal stability of bottom electrode thin films (La0.5Sr0.5)CoO3 (LSCO) and (La0.6Sr0.4)MnO3 (LSMO) were investigated. The crystallization and surface morphology of the heterostructure were characterized using x-ray diffraction and atomic force microscopy. Resistivity of the LSCO thin film was 25 cm. However, the resistivity of LSCO thin film increases sharply with annealing temperature. The LSMO thin film has high resistivity (100 mcm). The film does not decompose after thermal processing at 900 °C. To confirm thermal stability, we examined the effect of post annealing at various temperatures on the morphology and resistivity. Results showed that LSMO has higher thermal stability than that of LSCO.
ISSN: 10139826 OPAC
E-ISSN: 16629795 OPAC
出版者DOI: 10.4028/www.scientific.net/KEM.445.160   
NII書誌ID: AA10697012 OPAC ciniib
関連リンク: http://www.scientific.net/KEM
バージョン: author
出現コレクション:05. 雑誌論文・記事(Journal Article, Article, Preprint)

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