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タイトル: Development of vacuum ultraviolet absorption spectroscopy system for wide measurement range of number density using a dual-tube inductively coupled plasma light source
著者: Kuwahara, Akira
Matsui, Makoto
Yamagiwa, Yoshiki
掲載誌名: Review of Scientific Instruments
出版者: American Institute of Physics
巻: 83
号: 12
開始ページ: 123105
出版日付: 2012-12-12
権利: © 2012 American Institute of Physics
NDC: 549
ISSN: 00346748 OPAC
E-ISSN: 10897623 OPAC
出版者DOI: 10.1063/1.4770118   
PMID: 23277970
NII書誌ID: AA00817730 OPAC ciniib
関連リンク: http://rsi.aip.org/resource/1/rsinak/v83/i12/p123105_s1
バージョン: publisher
出現コレクション:05. 雑誌論文・記事(Journal Article, Article, Preprint)

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