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05. 工学部・工学研究科 = Faculty of Engineering >
05. 研究報告書(Research Paper, Technical Report) >

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タイトル: コプラナー型平面プラズマによる酸化物薄膜のダイレクトパターニング
その他のタイトル: Direct patterning of oxide films by coplanar type surface discharge
著者: 奥谷, 昌之
出版者: 静岡大学
出版日付: 2013-06-04
NDC: 541
注記: 2010年度~2012年度 科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書
KAKEN番号: 22560719 OPAC kaken
バージョン: publisher
出現コレクション:05. 研究報告書(Research Paper, Technical Report)

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