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タイトル: アクティブな空間光制御による三次元超解像イメージングと欠陥形状高速計測
その他のタイトル: 3D Super-Resolution Imaging for High-Speed Defect Inspection by Using Active Spatial Control of Light
著者: 臼杵, 深
出版者: 静岡大学
出版日付: 2013-06-04
NDC: 549
注記: 2011年度~2012年度 科学研究費補助金(若手研究(B))研究成果報告書
KAKEN番号: 23760112 OPAC kaken
バージョン: publisher
出現コレクション:30. 研究報告書(Research Paper, Technical Report)

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