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タイトル: Modulation of Seebeck Coefficient in Thin Si-on-Insulator Layer and Construction of Its New Measurement Technique by Kelvin-Probe Force Microscopy
その他のタイトル: SOI薄膜のゼーベック係数制御とケルビンプローブフォース顕微鏡を用いたゼーベック係数の新測定技術の構築
著者: Mohd Faiz, Bin Mohd Salleh
出版者: Shizuoka University
出版日付: 2013-12
NDC: 549
学位名: 博士(工学)
学位の区分: doctoral
学位の分野: 創造科学技術大学院
学位授与機関: 静岡大学
報告番号: 甲第793号
学位授与年月日: 2014-03-22
学位授与番号: 13801甲第793号
バージョン: ETD
出現コレクション:81. 博士論文(Doctoral thesis)

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