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静岡大学電子工学研究所研究報告 (1966-2003) >
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タイトル: SiC結晶の低温液相エピタキシャル成長
その他のタイトル: Low Temperature Liquid Phase Epitaxy of Silicon Carbide
著者: 田中, 昭
塩崎, 伸敬
安宅, 竜也
勝野, 廣宣
掲載誌名: 静岡大学電子工学研究所研究報告
出版者: 静岡大学電子工学研究所
巻: 36
開始ページ: 107
終了ページ: 114
出版日付: 2002-03-24
NDC: 540
ISSN: 02863383 OPAC
NII論文ID: 110000458650 ciniia
NII書誌ID: AN00103204 OPAC ciniib
バージョン: publisher
出現コレクション:2001 36

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