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11. 創造科学技術大学院 = Graduate School of Science and Technology >
静岡大学大学院電子科学研究科研究報告 (1980-2008) >
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タイトル: 熱陰極直流放電プラズマによる金属表面へのSiC薄膜生成
その他のタイトル: SiC thin film deposition on a metal by direct current discharge plasma with heated cathode
著者: 加藤, 達也
山梨, 秀則
江藤, 昭弘
神藤, 正士
掲載誌名: 静岡大学大学院電子科学研究科研究報告
出版者: 静岡大学大学院電子科学研究科
巻: 21
開始ページ: 69
終了ページ: 74
出版日付: 2000-03-31
NDC: 427
ISSN: 03885070 OPAC
NII論文ID: 110000458379 ciniia
NII書誌ID: AN00103168 OPAC ciniib
バージョン: publisher
出現コレクション:2000 21

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Others By: 加藤, 達也 (カトウ, タツヤ) (Katoh, Tatsuya) -- 山梨, 秀則 -- 江藤, 昭弘 (エトウ, アキヒロ) (Etoh, Akihiro) -- 神藤, 正士 (カンドウ, マサシ) (Kando, Masashi)

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